mPT-GL-S系列 | 氣浮導向直驅直線運動平臺-上海微泓自動化設備有限公司

◼ 運動行程100-500mm

◼ 定位精度±0.4μm

◼ 重復定位精度0.4μm

◼ 負載50kg

◼ 100，200，300，400和500五種規格

mPT-GL-S系列產品是采用微泓自主研發的無鐵芯直線電機驅動的氣浮直線運動平臺。其運動行程100-500mm，定位精度±0.4μm，重復定位精度±0.2μm，負載50kg，分辨率5nm。mPT-GL-S系列定位平臺在垂直和水平面上布置空氣-空氣預載模塊。氣浮模塊的氣膜面設計保證氣浮導軌的剛度，提高了定位平臺的承載能力。氣膜分布的均化效應，減小定位平臺的俯仰，滾動和偏航誤差，以及直線度和平面度誤差。完全非接觸式靜壓空氣軸承，非接觸式直線電機驅動和非接觸式反饋測量裝置確保微泓GL系列精密定位平臺在免維護操作情況下仍能保持高性能和高穩定性。mPT-GL-S也適合在潔凈環境下工作。

應用領域

◼ 計量工程

◼ 光電子工程

◼ 半導體

◼ 平板顯示

定制信息

◼ 直線光柵

◼ 輸出臺面

技術規格
外形尺寸圖
型號與訂貨信息
相關驅控與附件

	Units	S100	S200	S300	S400	S500
運動行程/Travel	mm	100	200	300	400	500
分辨率/Resolution	nm	5	5	5	10	10
重復定位精度/Repeatabil	μm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3
定位精度/Accuracy	μm	±0.4	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5
平面度/Flatness of Travel	μm	±0.25	±0.4	±0.75	±1.5	±2
直線度/Straightness of Travel	μm	±0.25	±0.4	±0.75	±1.5	±2
俯仰，滾動，偏航誤差/Pitch, Roll and Yaw	arc-sec	±1	±2	±3	±4	±5
最大加速度/Max. Acceleration	9.8m/s2	2	2	2	2	2
最大速度/Max. Speed	mm/s	2000	2000	2000	2000	2000
位置穩定性/Position Stability	counts	2	2	2	2	2
最大負載/Max. Load Capacity	kg	50	50	50	50	50

注：產品技術規格中的性能參數僅供用戶參考，應以微泓的測試環境和控制器下的測試結果為準。

產品大類	支承類型	驅動構型	行程大小	反饋信號類型	限位類型
mPT	GL	S	200	LA	NC
			300	LD	NO
解釋
微米級定位產品	氣浮導向	單電機驅動	200mm	直線光柵，模擬量輸出	常閉觸點
			300mm	直線光柵，數字量輸出	常開觸點

訂貨舉例：mPT-GL-S100-LA-NC

我們將根據用戶的應用需求，提供控制器與驅動器的配置建議。

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