所屬類別：DDL定制直驅直線運動平臺
產品名稱：mPT-SL-ZW系列 | 機械導向直驅楔形垂直運動平臺
產品標簽：mPT-SL-ZW系列 | 機械導向直驅楔形垂直運動平臺
更新時間：2020/8/9 17:30:42
上一個產品： mPT-GL-S系列 | 氣浮導向直驅直線運動平臺
| Units | ZW5 | ZW10 | ZW15 | |
|---|---|---|---|---|
| 運動行程/Travel | mm | 5 | 10 | 15 |
| 分辨率/Resolution | nm | 1 | 1 | 1 |
| 重復定位精度/Repeatabil | μm | ±0.02 | ±0.02 | ±0.02 |
| 定位精度/Accuracy | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
| 平面度/Flatness of Travel | μm | ±0.5 | ±1.0 | ±1.0 |
| 直線度/Straightness of Travel | μm | ±0.5 | ±1.0 | ±1.0 |
| 俯仰，滾動，偏航誤差/Pitch, Roll and Yaw | arc-sec | ±5 | ±7.5 | ±7.5 |
| 最大加速度/Max. Acceleration | 9.8m/s2 | 0.7 | 0.7 | 0.7 |
| 最大速度/Max. Speed | mm/s | 75 | 75 | 75 |
| 平均速度波動/Average Speed Ripple | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 位置穩定性/Position Stability | counts | ±1 | ±1 | ±1 |
| 最大負載/Max. Load Capacity | kg | 20 | 20 | 20 |
| 產品大類 | 支承類型 | 驅動構型 | 行程大小 | 反饋信號類型 | 限位類型 |
|---|---|---|---|---|---|
| mPT | SL | ZW | 5 | LA | NC |
| 10 | LD | NO | |||
| 解釋 | |||||
| 微米級定位產品 | 機械軸承 | 垂直楔形直驅結構 | 5mm | 直線光柵，模擬量輸出 | 常閉觸點 |
| 10mm | 直線光柵，數字量輸出 | 常開觸點 | |||
