mPT-GL-ZD系列 | 氣浮導向直驅垂直運動平臺-上海微泓自動化設備有限公司

◼ 運動行程100-500mm

◼ 定位精度1μm

◼ 重復定位精度0.5μm

◼ 負載35kg

◼ 100，200，300，400和500五種規格

mPT-GL-ZD系列產品是采用微泓自主研發的無鐵芯直線電機驅動的氣浮垂直運動平臺。其運動行程100- 500mm，定位精度±0.4μm，重復定位精度±0.1μm，負載35kg，分辨率10nm。mPT-GL-ZD定位平臺在垂直和水平表面布置空氣-空氣預載。氣浮模塊的大氣膜面設計保證氣浮導軌的剛度，提高了定位平臺的承載能力。氣膜分布的均化效應，減小定位平臺的俯仰，滾動和偏航誤差，以及直線度和平面度誤差。采用低摩擦氣缸平衡重力，使定位平臺上下運動平穩與順暢。完全非接觸式靜壓空氣軸承，非接觸式直線電機驅動和非接觸式反饋測量裝置確保微泓GL系列精密定位平臺在免維護操作情況下仍能保持高性能。運動部件之間沒有機械接觸，保證定位的高性能下的高穩定性。也適合在潔凈環境下工作。

技術規格
外形尺寸圖
型號與訂貨信息
相關驅控與附件

Units	ZD100	ZD200	ZD300	ZD400	ZD500
運動行程/Travel	mm	100	200	300	400	500
分辨率/Resolution	nm	5	5	5	10	10
重復定位精度/Repeatabil	μm	±0.2	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3
定位精度/Accuracy	μm	±0.4	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5
平面度/Flatness of Travel	μm	±0.25	±0.4	±0.75	±1.5	±2
直線度/Straightness of Travel	μm	±0.25	±0.4	±0.75	±1.5	±2
俯仰，滾動，偏航誤差/Pitch, Roll and Yaw	arc-sec	±1	±2	±3	±4	±5
最大加速度/Max. Acceleration	9.8m/s2	2	2	2	2	2
最大速度/Max. Speed	mm/s	2000	2000	2000	2000	2000
位置穩定性/Position Stability	counts	2	2	2	2	2
最大負載/Max. Load Capacity	kg	35	35	35	35	35

注：產品技術規格中的性能參數僅供用戶參考，應以微泓的測試環境和控制器下的測試結果為準。

產品大類	支承類型	驅動構型	行程大小	反饋信號類型	限位類型
mPT	GL	ZD	200	LA	NC
			300	LD	NO
解釋
微米級定位產品	氣浮導向	直驅垂直運動	200mm	直線光柵，模擬量輸出	常閉觸點
			300mm	直線光柵，數字量輸出	常開觸點

訂貨舉例：mPT-GL-ZD200-LA-NC

我們將根據用戶的應用需求，提供控制器與驅動器的配置建議。

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