mPT-SL-S系列 | 機械導向直驅直線運動平臺-上海微泓自動化設備有限公司

◼ 運動行程100-450mm

◼ 定位精度±1μm

◼ 重復定位精度0.5μm

◼ 負載100kg

◼ 100，200，300和450四種規格

mPT-SL-S系列產品結構緊湊，采用微泓自主研發的無鐵芯直線電機驅動的精密直線運動平臺。其運動行程100-450mm，定位精度±1μm，重復定位精度±0.5μm，負載100kg，分辨率0.1/0.05nm。mPT-SL-S定位平臺利用無鐵芯直線電機驅動和高性能機械滾動導軌支承，可以廣泛應用在激光加工、3D打印、半導體測試和電子制造等領域。

技術規格
外形尺寸圖
型號與訂貨信息
相關驅控與附件

Units	S100	S200	S300	S450
運動行程/Travel	mm	100	200	300	450
分辨率/Resolution	μm	0.1/0.05	0.1/0.05	0.1/0.05	0.1/0.05
重復定位精度/Repeatabil	μm	0.5	0.5	0.5	0.5
定位精度/Accuracy	μm	±1	±1	±1	±1
平面度/Flatness of Travel	μm/100mm	±5	±5	±5	±5
直線度/Straightness of Travel	μm/100mm	±3	±3	±3	±3
俯仰，滾動，偏航誤差/Pitch, Roll and Yaw	arc-sec	±6	±8	±10	±14
最大加速度/Max. Acceleration	9.8m/s2	2.5	2.5	2.5	2.5
最大速度/Max. Speed	mm/s	1200	1600	2000	2000
位置穩定性/Position Stability	kg	100	100	100	100
平臺質量/Stage Weight	kg	20.5	24.5	28	32

注：產品技術規格中的性能參數僅供用戶參考，應以微泓的測試環境和控制器下的測試結果為準。

產品大類	支承類型	驅動構型	行程大小	反饋信號類型	限位類型
mPT	SL	S	100	LA	NC
			200	LD	NO
解釋
微米級定位產品	機械軸承	單電機驅動	100mm	直線光柵，模擬量輸出	常閉觸點
			200mm	直線光柵，數字量輸出	常開觸點

訂貨舉例：mPT-SL-S100-LA-NC

我們將根據用戶的應用需求，提供控制器與驅動器的配置建議。

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