mPT-GL-H系列 | H型兩維氣浮精密運動平臺-上海微泓自動化設備有限公司

◼ 運動行程300-1000mm

◼ 定位精度1μm

◼ 重復定位精度0.5μm

◼ X-Y正交誤差1arc-sec

◼ 負載30-120kg

◼ 300，500，750，1000四種規格

mPT-GL-H系列產品是采用微泓自主研發的無鐵芯直線電機驅動的H型二維精密直線運動平臺。其運動行程300x300mm、500x500mm、750x750mm、1000x1000mm，定位精度±0.5μm，重復定位精度±0.1μm，負載120kg，分辨率10nm。 mPT-GL-H系列定位平臺采用靜壓氣體軸承作為導向支承，氣浮模塊的大氣膜面設計保證氣浮導軌的剛度，提高定位平臺的承載能力。氣膜分布的均化效應，減小定位平臺的俯仰、滾動和偏航誤差，以及直線度和平面度誤差。同時采用在垂直和水平表面布置空氣-空氣預載方式，高性能氣浮墊和整體氣浮模塊兩種形式可供選擇。X軸采用雙氣浮模塊、雙直線電機驅動以及雙直線光柵反饋。其與單驅的Y軸構成H型龍門架機械構型，X、Y軸的共面設計，減小了定位平臺的耦合誤差。

技術規格
外形尺寸圖
型號與訂貨信息
相關驅控與附件

	Units	H300	H500	H750	H1000
運動行程/Travel	mm	300×300	500×500	750×750	1000×1000
分辨率/Resolution	nm	10	10	10	10
重復定位精度/Repeatabil	μm	±0.1	±0.1	±0.2	±0.2
定位精度/Accuracy	μm	±0.5	±0.75	±0.85	±1.0
平面度/Flatness of Travel	μm	±0.5	±1.5	±2	±2.5
直線度/Straightness of Travel	μm	±0.5	±1.5	±2	±2.5
正交性/Orthogonality	arc-sec	1	1	1	1
俯仰，滾動，偏航誤差/Pitch, Roll and Yaw	arc-sec	±2	±3.5	±4.5	±5.5
最大加速度/Max. Acceleration	9.8m/s2	1	1	1	1
最大速度/Max. Speed	mm/s	1000	1000	1000	1000
平均速度波動/Average Speed Ripple	%	10	10	10	10
位置穩定性/Position Stability	counts	2	2	2	2
最大負載/Max. Load Capacity	kg	30	30	120	120

注：產品技術規格中的性能參數僅供用戶參考，應以微泓的測試環境和控制器下的測試結果為準。

產品大類	支承類型	驅動構型	行程大小	反饋信號類型	限位類型
mPT	GL	H	300	LA	NC
			500	LD	NO
解釋
微米級定位產品	氣浮導向	H型	300×300mm	直線光柵，模擬量輸出	常閉觸點
			500×500mm	直線光柵，數字量輸出	常開觸點

訂貨舉例：mPT-GL-H300300-LA-NC

我們將根據用戶的應用需求，提供控制器與驅動器的配置建議。

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