微泓^®為用戶提供超精密直驅轉臺產品，包括直驅伺服電機（Direct-Drive）驅動的氣浮直驅轉臺和配套超精密伺服驅動器（mPT-MD-UP系列）。
   超精密直驅轉臺包括精密級（P系列）和超精密級（UP系列）。P系列超精密直驅轉臺采用自主研發的直驅無齒槽伺服電機。
   GR-P系列超精密直驅轉臺配套超精密伺服驅動器mPT-MD-UP系列驅動器，GR-UP系列超精密直驅轉臺配套專用驅動器mPT-MD-UP-ETO。運動控制器可選用微泓^®的EtherCAT運動控制器，用戶也可自選EtherCAT總線控制器，給予客戶更多的配置空間。
  微泓^®的超精密氣浮直驅轉臺可廣泛應用于精度測量，納米計量，高精度硅片檢測，液晶平板精密檢測，Nano-Xray繞射，光學元件檢測，超精密加工機床等領域。